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低温冷凝泵的主要特点及应用范围

发布时间:2016年01月18日 09:33   阅读:2579   返回   来源:泽德
  低温冷凝(吸附)泵(低温泵)是采用液氦或制冷机循环气氦作冷却介质,利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压力大大降低,从而获得并维持洁净的真空状态的抽气装置。低温泵抽气是一种储存式捕集排气,它所抽走的气体不是直接排到泵外,而是储留在泵内,一旦冷凝表面温度发生变化,它所抽走的气体又会重新放出,而破坏泵的正常工作。
  低温泵的特点是:
  (1)抽气压力范围宽,其抽气工作压力范围为lo-1~10-12Pa。
  (2)起始压力高(原则上可从大气压开始抽气),极限压力低,极限真空度可达到10-13Pa。
  (3)抽气速率大,对于20℃空气,低温泵的最大抽气速率可达106L/s(11.6L(S·cm2))。
  (4)抽气种类广,低温泵可以抽除各种气体,获得清洁的超高真空。特别适合应用在抽除可凝性气体及气体负荷大,真空度要求高的场合。
  (5)泵的结构形式灵活,低温吸气面可以作成插入式,用于无法布置其他类型泵的场合,使得泵结构设计的自由度增大。
  (6)作为大容量的排气系统,占地面积小。但是,低温泵运行时需要制冷剂或制冷设备。
  低温泵的应用范围相当广泛:
  (1)外层宇宙空间模拟。在空间科学技术中,宇宙空间存在着真空和低温状态,外层空间的真空度可达10-14Pa,温度为3K左右。因此,低温泵是宇宙空间模拟的理想抽气设备。此外,研究空间条件下材料表面现象、低压空气动力学试验、火箭发动机高空点火试验、空间生物技术等,都用到低温泵。
  (2)应用在高能物理、等离子体研究中。
  (3)应用在薄膜制备领域。
  (4)应用在微电子学,尤其是半导体微电子技术,如离子注入、离子刻蚀等。
  (5)应用在现代表面分析仪器中。

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