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常见干式真空泵的构造及抽气特性

发布时间:2016年02月06日 09:35   阅读:3710   返回   来源:泽德

  多级罗茨真空泵、多级爪型真空泵、螺杆式真空泵、涡旋型真空泵及组合式真空泵是几种常见的干式真空泵,因其构造和工作原理不同,所以,它们的抽气特性也不同。

  1.多级罗茨真空泵。罗茨式是最早出现的干式真空泵,在设计理念上就是多个罗茨泵的叠加。这种结构使得气体通路长而复杂,导致冷凝物的堆积,同时被化学气体腐蚀的可能性大大增加。由于是多级设计,级与级之间又多采用密封,从而使得维修工作比较麻烦。

  2.多级爪型真空泵。它采用了形状复杂的爪型转子。这种泵也类似罗茨泵型式,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关。沿轴向逆流少。因此在高压区它的压缩比要比罗茨泵的压缩比高。由于这种泵的吸气口和排气口安置在泵腔的侧壁上,多级连接起来很方便,气道流畅,泵内腔压力变化平缓,有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在泵内的凝结,也要向泵腔内通净化气体。

  3.螺杆式真空泵。干式螺杆真空泵是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,其结构紧凑,抽速大,真空度高,可直排大气,工作部件无摩擦,寿命长。在螺杆式压缩机中,螺旋转子的螺旋圈数在一圈以内,而螺杆真空泵的螺旋圈数在2圈以上,这样可减少返流量,提高压缩比。

  4.涡旋型真空泵。涡旋型干式真空泵根据其转动方式不同,分为两种型式:一种是一个涡旋固定不动(称为静涡旋),另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转(称为动涡旋)的公转型;另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型,它的两个涡旋都是动涡旋。

  涡旋型真空泵的气体从周边吸入向中心压缩,由中间排气,实现连续吸气、压缩和排气的整个抽气过程。这种泵压缩平稳、驱动力矩变化小,故振动小、噪声低,相邻的两个月牙腔容积的压差小,故间隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到较高的压缩比。

  5.组合式真空泵。组合式真空泵指的是罗茨型干式真空泵和爪型干式真空泵的组合。

  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路与圆裂片式设计完全相同。也有将其最后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为5份,就像三圆裂片式设计可以将其分为3份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。

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