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涡轮分子泵的运用

发布时间:2017年03月07日 09:55   阅读:2322   返回   来源:泽德
  涡轮分子泵正常工作需要小于10Pa的前置压强,可用旋片式机械泵作为前级泵。涡轮分子泵有一专用的中频电源,对泵内的电动机供电,接通中频电源后,几分钟内可使泵的转速到达额定值。泵的额定转速因型号而异,一般在30000~50000r/min内。立式泵需要垂直放置,泵内承受高速旋转的轴承,需要通以冷却水冷却。近年来出现了不使用水冷而使用风冷、且可以水平放置的立式涡轮分子泵,使用更方便。
  为达到分子泵的极限真空,应对被抽容器和泵体进行烘烤。因泵内的级间连接部分是用橡胶密封的,故泵体的烘烤温度不能太高,为100~120℃。真空系统充分除气后可得到10-6~10-7Pa的极限压强。
  涡轮分子泵对分子相对质量大的气体压缩比大,故极限真空主要决定于分子相对质量小的气体成分,如H2、He等。此外,容器及泵体放出的水汽也是影响极限真空的重要因素。
  由于具有高速旋转的部件,涡轮分子泵不能在磁场下运用,因为这会产生涡流导致发热、叶片变形等效果。
  涡轮分子泵内各轮叶之间、动轮叶与泵壁之间的空隙都只在1mm左右,因此工作时应严格防止异物进人泵内,避免高速旋转的铝制叶片被打坏。
 

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