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涡轮分子真空泵的工作原理及结构

发布时间:2017年05月27日 10:08   阅读:2596   返回   来源:泽德
  涡轮分子真空泵是一种对各种气体的抽速差别不大的真空泵。它由一系列高速旋转动片和固定的静片组成,动片和静片构成相间排列。气体分子与高速旋转动片相碰撞,就可获得沿运动表面方向的速度分量,通过系列动片和静片的组合,使气体分子沿一定方向运动,从而产生抽气效果和压缩气体作用。涡轮分子泵的压缩比与气体分子量的平方根成正比关系,由于碳氢化合物的分子量较大,因此对碳氢化合物具有净化作用。
  涡轮分子泵通常选择几何尺寸不同的动片和静片组成三个抽气段,即高、中、低抽气段。高段对叶列片的参数选择主要是为了提高抽气速率,低段对叶列片的参数选择则主要考虑提高压缩比,而中段是过渡阶段,要统筹兼顾考虑过渡过程以达到合理匹配。
  涡轮分子泵通常选用中频电机,因此要采用中频电源来驱动。由于旋转动片需要高速运转,旋转动片的轴承就需润滑剂来润滑以达到延长使用寿命。涡轮分子泵需采用循环水冷却。
 

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