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轴流分子泵的特点及应用

发布时间:2017年07月27日 10:45   阅读:2157   返回   来源:泽德
  轴流分子泵是在分子流范围工作的涡轮式真空泵,对于与高速运动的固体表面相碰撞的气体分子,给予动量,使其由低压区向高压区产生分子流。具有动叶与静叶,入射到动叶上的气体分子,碰到叶表面后进行反射,通过静叶,进入下一级的动叶。从而叶的圆周速度对于抽气性能非常重要,要求达到气体分子的最大概率速度的1/2左右。通常抽气速率几乎不因气体种类而变动,但却具有气体的分子量越大其压缩比越大的特点。
  轴流分子泵用油封式机械真空泵或机械增压泵等前级真空泵,把反压力降到分子流范围后使用,它和机械增压泵一样,没有油蒸汽的反流,可以获得所谓的清洁真空。
 

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