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真空泵的需要考虑哪些原则?

发布时间:2020年07月18日 01:08   阅读:762   返回   来源:泽德

  真空泵的性能在很大程度上决定了真空系统的性能,在选用真空泵时,应考虑以下几点原则:

  (1)能否获得所需要的工作真空度和极限真空度。

  (2)对被抽气体是否有足够大的抽速。

  (3)真空系统的残余气体成分是否合乎要求。

  (4)设备价格和维持运行费用的高低。

  (5)可靠性和操作难易程度。

  扩散泵系统是比较常用的高真空系统,一般可以获得10一~10巧Pa的工作真空,使用特别设计的扩散泵及采用性能良好的扩散泵油,再在泵的人口端使用挡油板和液氮冷阱,加以充分的烘烤除气措施,可以获得10 - Pa的极限真空。扩散泵系统的特点是对各种气体都能抽除,适宜长时间连续工作,扩散泵没有噪声,价格比较低。缺点是开启或停止系统工作很耗时,工作效率低,油污染严重。

  用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵系统,是目前常用的高真空系统,有取代扩散泵系统的趋势。分子泵系统可以获得10。1~10 -6Pa的工作真空,可达到10 -8Pa的极限压强。分子泵系统的优点:对各种气体的抽速差别不大,起动快、油污染很轻,称之为半无油系统;能耗较低,容易做到自动控制。缺点:价格较高,颗粒物落人泵内容易损坏。适用于要求油污染少且连续排除中等流量气体的场合。

  建立全无油的超高真空系统,可以采用溅射离子泵和低温吸附泵组成的系统。这种系统可以获得10。3—10。9 Pa的清洁真空,主要残余气体是H:。但这种配置由于吸附泵的排气量有限,起动不方便,不适用于抽除气体量大和频繁起动的场合。如果用机械泵串联挡油吸附阱代替吸附泵,可以克服吸附泵排气量小的缺点,但代价是丧失了全无油的优点。溅射离子泵系统的缺点是对惰性气体的抽速很小,不适用于抽除以惰性气体为主的负载气体,另外其价格也较高。

  钛升华泵的特点是极限真空度高,可以达到10。9Pa,对活性气体的抽速很大,但对惰性气体的抽速为零,因此它不适用于作为经常要排除空气的真空系统的主泵,而适于在扩散泵、分子泵、溅射离子泵系统中作为提高极限真空度的辅助泵使用。

  低温冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速最大、工作压强范围最宽、极限真空度最高(气氦制冷机低温冷凝泵可以达到10 -10Pa,液氦型低温冷凝泵可以达到10 -i3 Pa)的真空泵,而且可以抽除所有气体,能获得全无油清洁真空。由于具有这些突出的优点,气氦制冷机低温冷凝泵在需要大抽速、超高清洁真空的半导体、新型显示器件及其他高科技研究和产业中获得了日益广泛的应用。低温冷凝泵的缺点是价格很高,运行中需要再生而不能长期连续抽气。

  

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